【摘 要】
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该文对集成电路功能成品率模型、仿真技术以及功能成品率优化设计方法进行了系统研究.主要研究结果如下:首先,研究了工艺缺陷引起电路故障的机理,在冗余物缺陷和丢失物缺陷的
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该文对集成电路功能成品率模型、仿真技术以及功能成品率优化设计方法进行了系统研究.主要研究结果如下:首先,研究了工艺缺陷引起电路故障的机理,在冗余物缺陷和丢失物缺陷的研究基础上,考虑了介质层针孔缺陷对功能成品率的影响,得到了针孔缺陷的故障识别算法(应用于Monte Carlo成品率仿真)和关键面积提取算法.该文对不同种类的缺陷分别提出了相应的故障识别算法.成功地开发了Monte Carlo功能成品率仿真系统.该文在研究现有关键面积计算模型及其不足之处后,首次提出了适用于一般版图图形结构的关键面积计算模型.该文在功能成品率优化设计方法研究上取得重要结果.论述了基本优化策略,重点研究了基于局部版图布线调整的功能成品率优化方法.该文还研究了基于线型调整和连线位置调整的局部版图优化技术,通过实际版图结构的关键面积特性对比说明了这两种技术的有效性.此外,还对全局版图调整的功能成品率优化进行了研究与探讨,分析了版图设计规则变化对功能成品率的影响.
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