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铁电材料由于具有优良的物理学性能而广泛用于各种多功能电子器件,特别是铁电存储器。铁电存储器是一类非挥发性存储器,它克服了传统的存储器的缺点。但由于铁电失效问题,铁电存储器的发展速度一直很缓慢。而随着铁电薄膜的尺寸不断减小,当其达到微米或纳米数量级时,漏电流是引起铁电薄膜铁电失效的主要原因。铁电薄膜漏电流直接关系到铁电存储器能否得到实际的应用,其相关研究一直是科学研究的热点。影响铁电存储器漏电流的因素除了薄膜的厚度外还有很多,如界面、工艺温度、缺陷和畴壁等。而在众多因素中,最常见和所占比例最高的两种因