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该文主要讨论椭圆偏振测量技术在多层膜光学性质测量中的应用,提出椭偏率测量方法,并把此方法应用于液晶显示器基片表面ITO透明电极和SiO<,2>隔离层的测量.
多层膜光学性质的研究
【摘 要】
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该文主要讨论椭圆偏振测量技术在多层膜光学性质测量中的应用,提出椭偏率测量方法,并把此方法应用于液晶显示器基片表面ITO透明电极和SiO隔离层的测量.
【机 构】
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中山大学
【出 处】
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中山大学
【发表日期】
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1997年期
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