【摘 要】
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该文设计了一种使用良好的石墨舟,建立了一套能进行开管外延的系统,并利用此系统在不同的生长条件下生长了不同的x值的HgCdTe外延薄膜.通过对外延生长工艺的控制,外延薄膜的
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该文设计了一种使用良好的石墨舟,建立了一套能进行开管外延的系统,并利用此系统在不同的生长条件下生长了不同的x值的HgCdTe外延薄膜.通过对外延生长工艺的控制,外延薄膜的表面形貌有很大的改善,残留母液大为减少,外延薄膜的组分比较均匀.该文的最后一部分对HgCdTe的液相外延生长机制和HgCdTe的退火机制进行了探讨,提出了一种理论计算模型,结果发现该理论与实验结果符合较好.
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