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自碳纳米管被发现以来,研究者们对其结构及特性进行了大量的探究,并取得大量成果。现今,研究者们已经不再局限于研究碳纳米管本身的特性,而进一步利用各种技术手段对其微观或宏观体的属性进行调控,从而获得新的结构,或在某特性上进行优化,最终推广到实际应用中,提高生产效率。碳纳米管比表面积大,易于发生团簇,从而限制了其发展,为了探究准分子激光对碳纳米管薄膜结构和特性的影响,分散及制备其均匀薄膜是关键的步骤。采用电泳沉积制备薄膜是一个优选的方法,若在电泳液中直接加入分散剂,碳纳米管分散效果有较大改善,但薄膜上会附着大量分散剂,影响薄膜性能;若不加分散剂,分散效果不佳,且需要超长的超声时间;本文采用二次分散的方法很好地避免了上述问题,并且制备出了厚度为百纳米的超薄薄膜,为后续准分子激光辐照实验提供样品。激光具有单色性好、方向性好、高能量的特点,在材料加工方面有着广泛的应用。已有利用光纤激光器、Nd:YAG激光器等对碳纳米管进行改性,在结构方面促成碳纳米管之间的连接,在特性方面获得高电流密度、超亲水、超疏水等成果。本文采用248nm准分子激光器,在不同激光能量条件下对碳纳米管薄膜进行辐照,调控并优化薄膜的导电性,获得具有变阻特性的碳纳米管。本论文的具体研究工作如下:(1)介绍碳纳米管的起源、结构及基本性能,以及其薄膜的制备方法。理解电泳沉积法制备碳纳米管薄膜的原理及方法。介绍激光改性碳纳米管薄膜的国内外研究现状。(2)制定采用电泳沉积制备碳纳米管薄膜的装置和实验方法,探究薄膜制备的最佳电泳参数,通过实验得到一个薄膜沉积较佳的条件为:在室温下,当碳纳米管浓度为0.016mg/ml,电泳电压为110V,电泳时间为6min时,其厚度为144.9nm,薄膜表面电阻为996.8Ω/sq。(3)设计激光辐照处理系统,采用不同能量的准分子激光对电泳沉积制备的碳纳米管薄膜进行辐照,并对辐照前后的薄膜进行表征。通过SEM图像分析,结果表明辐照后碳纳米管的碳碳键被打开,管壁上碳原子密集;通过分析辐照前后碳纳米管薄膜拉曼光谱变化,发现D峰和G峰峰值均有升高,但总体来说变化较小,其ID/IG值随着激光能量的增加而增大;对辐照前后的碳纳米管薄膜进行I-V特性测试,辐照后的碳纳米管薄膜均不同程度的表现出非线性,当辐照的激光能量为450m J时,非线性最为明显;对辐照前后碳纳米管薄膜的电阻进行测试,辐照后的薄膜电阻相比辐照前减小了1/2左右,薄膜导电性能得到提升。本研究对碳纳米管在微纳电子器件等领域的应用具有重要意义。