功率集成电路中的高压横向MOS晶体管

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智能功率集成电路(SmartPowerIC。,SPIC)将功率MOS器件与控制和保护电路单片集成,不仅提高了系统的可靠性,而且减少了系统的体积、重量和成本,对实现军事装备和民用装置的小型化、智能化和节能化有着重要的意义。该文分析并改进了变频器IC等单片功率系统中的核心器件-横向型绝栅双极晶体管(LIGBT)的关断速度、抗闩锁性能和击穿特性,并研制了广泛用于大功率电机控制和开关电源中的驱动与保护SPIC。主要工作包括:提出He离子注入局域寿命控制的高速SOI-LIGBT;提出抗闩锁的控制空穴注入型横向绝缘栅双极晶体管;研制了高压LIGBT;设计并研制了结隔离高/低端MOS栅驱动与保护SPIC。
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