电弧离子镀TiAlN及TiAlYN涂层的沉积工艺及性能研究

来源 :中国科学院金属研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wendy_83090905
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该文以发展航空发动机压气机叶片防护涂层为目的,采用电弧离子镀技术,使用Ti靶和Al靶、不同成分的TiAl合金靶及TiAlY合金靶,在燃气轮机压气机叶片材料1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体上沉积了不同成分的TiAlN及TiAlYN涂层.采用扫描电子显微镜(SEM),能谱分析(EDS),电子探针(EPMA),X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)、热重分析(TGA)、高温腐蚀热天平、显微硬度计、划痕仪、磨损实验机等技术和设备,研究了沉积工艺参数(N<,2>分压、基体脉冲偏压、靶材成分等)对TiAlN及TiAlYN涂层的熔滴形成、沉积速率、成分、相结构等的影响,Al含量对涂层的结构、力学性能(硬度、结合强度、抗磨损性)、抗氧化性能、电化学性能的影响及Y元素的添加对涂层结构和氧化性能的影响.
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