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该文在分析了残留电位对SEM衬度的影响后,针对利用低电压电子束持续扫描照射使表面电位均匀化的实验结果,建立了表面电位随电子束扫描时电荷在样品表面附近积累而变化的模型,并对其表面电位均匀化工作机理进行了数值模拟.结果表明,在不同表面电位条件下出射二次电子返回表面的比例不同是引起表面电位均匀化的主要因素;一次电子、返回表面的二次电子和空穴三者的共同作用使得在低于平衡电位的区域空穴被积累而电位上升,在高于平衡电位的区域电子被积累而电位下降;表面电荷差异因而逐渐减小,表面电位趋向于均匀的正平衡电位.