【摘 要】
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该文使用实验室自行设计的一套火焰法合成金刚石薄膜试验装置,以O-CH为气源,以市售普通焊炬为火焰发生器,在WC-Co硬质合金基底上沉积金刚石薄膜.对火焰法合成金刚石工艺参数
【出 处】
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中国地质大学 中国地质大学(武汉)
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该文使用实验室自行设计的一套火焰法合成金刚石薄膜试验装置,以O<,2>-C<,2>H<,2>为气源,以市售普通焊炬为火焰发生器,在WC-Co硬质合金基底上沉积金刚石薄膜.对火焰法合成金刚石工艺参数中气体供给压力、基底沉积温度、气体饱和比.气体流量对金刚石薄膜以及结晶习性的影响做了全面而深入的研究,在大量的实验的基础上得出一套适合该实验装置的最佳沉积参数和深入掌握了金刚石薄膜的生长规律.在此基础上,对提高硬质合金基底表面沉积金刚石薄膜质量、增加硬质合金基底与金刚石薄膜之间粘结力做了大量的工作.
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