论文部分内容阅读
铁电薄膜优异的物理性能更能满足器件日益微型化的需求,被广泛应用于光电子、微电子和微机电等领域。薄膜性能的好坏影响着器件性能的优劣。不同取向生长的铁电薄膜具有不同的性能,同时薄膜与基底间的失配应变对薄膜相结构具有重要影响,因此有望通过失配应变调控不同取向铁电薄膜的力-电、热释电性能。热力学理论作为一种研究铁电薄膜的有效方法,已在(001)取向薄膜的研究中有较好的应用,但其绝大多数采用的是单畴假设,对于其它取向和多畴铁电薄膜中的应用非常少,迫切需要建立其它取向和多畴状态薄膜的热力学理论框架。(1-x)P