【摘 要】
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该工作用硝酸铝和碳酸氢为原料,通过液相沉淀制备了粒径小(一次粒径
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该工作用硝酸铝和碳酸氢为原料,通过液相沉淀制备了粒径小(一次粒径<30nm),单分散性好(Poly=0.002),适合于CMP浆料的超细γ-Al<,2>O<,3>颗粒.研究了反应物浓度、浓度比、反应温度、搅拌速率及表面处理等工艺条件对粒子形成及性能的影响.以超细γ-Al<,2>O<,3>为研磨颗粒,采用机械搅拌分散的方式成功地制备了 分散稳定(至少9个月不沉降)、pH值小(4~5之间)、粘度小(<5cp)的水性分散系,该分散系能初步满足CMP浆料的性能要求.
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