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金刚石薄膜优良的力学性能使其在工模具和耐磨器件等领域具有广阔的应用前景。然而,由于硬质合金工具中粘接相钴的催石墨化作用,使得金刚石薄膜与硬质合金基体之间的附着力较低,从而阻碍了金刚石薄膜涂层工具的产业化应用。p型金刚石的研究表明在金刚石薄膜的生长过程中进行硼掺杂具有细化金刚石薄膜晶粒、降低薄膜内应力、提高薄膜质量等特点,这对于硼掺杂金刚石薄膜涂层技术在工具方面的应用和发展具有重要的意义。本文采用偏压增强热丝化学气相沉积法,以丙酮和氢气为原料,以硼酸三甲酯为掺杂源,在高电阻单晶硅片、硬质合