【摘 要】
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全球的环境污染与生态破坏使人们对全新无污染的清洁生产给予极大关注。光催化技术是一种新兴、高效、节能的现代绿色环保技术，光催化技术是在催化剂的作用下，利用光辐射将污染
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全球的环境污染与生态破坏使人们对全新无污染的清洁生产给予极大关注。光催化技术是一种新兴、高效、节能的现代绿色环保技术，光催化技术是在催化剂的作用下，利用光辐射将污染物分解为无毒或毒性较低物质的过程。在众多的光催化剂中，二氧化钛以其优良的催化性能、稳定的光化学性能、安全无毒、无副作用、使用寿命长等优点而被广泛使用。本文利用直流磁控溅射(DC-sputtering)技术在玻璃衬底上通过控制气体压强、温度、溅射功率制备了一系列二氧化钛(TiO2)薄膜，并通过椭偏法(SE)对TiO2薄膜进行了研究。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射谱(XRD)对薄膜的表面形貌和结构进行了分析;使用紫外-可见分光光度计研究了TiO2薄膜的吸收光谱。在文中详细讨论、分析了制备条件对TiO2薄膜结构及光学特性的影响，并优化了工艺参数。主要的取得的结果如下:
1.在椭偏分析时，对TiO2薄膜光学常数的考虑，有助于对薄膜的色散关系的准确表达，提高模型的准确建立，使模型与薄膜的实际物理结构更好地符合，提高拟合结果的精确度，从而使测量结果的正确性与精确度得到了明显的提高;
2.磁控溅射法制备TiO2薄膜过程中，压强能有效减少TiO2薄膜的晶粒尺寸，压强越大，晶粒尺寸越小;
3.磁控溅射法制备TiO2薄膜过程中，薄膜厚度随压强的增大先增加后减小;
4.磁控溅射法制备的TiO2薄膜，平均折射率随压强的增大呈下降趋势，消光系数在可见光波段的平均值趋近于零;
5.磁控溅射制备TiO2薄膜过程中，适当地提高温度能有效减小TiO2薄膜的晶粒尺寸;
6.退火处理有助于薄膜由不定型态向结晶态转变，提高薄膜质量;
7.磁控溅射法制备TiO2薄膜过程中，薄膜厚度随功率的增大先呈直线增加，到一定程度后，薄膜厚度不再随功率的增加而变化。
8.磁控溅射法制备的TiO2薄膜，在紫外波段的吸收边随功率的增大而发生了明显的红移现象。
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