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该学位论文采用SOL-GEL工艺制备了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>铁电薄膜,利用IR、DTA、XRD、TEM等技术分析了溶胶-凝胶反应转变机理及凝胶热处理过程中的相结构变化情况,并地薄膜材料电学性能及其机理进行了深入研究.主要结论如下:1.合成了高度均匀的BaSr-Ti溶胶以及钙钛矿结构的Ba<,0.5>Sr<,0.5>TO<,3>粉体.其反应机理为:在BaSr-Ti溶胶及凝胶中,钛的金属醇盐水解缩聚形成大分子网络结构;冰醋酸充当酸性催化剂,通过与钛的金属醇盐发生反应调节其水解过程;Ba、Sr盐则随机填充于有机大分子网络之中.干凝胶在晶化过程中,Ba<,0.5>Sr<,0.5>CO<,3>、TiO<,2>、Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>混合成在,各物质含量随焙烧温度升高而变化,最后全部转化为钙钛矿结构Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>.2.BaSr-Ti凝胶膜经700℃保温1h得到完全钙钛矿结构的Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>薄膜.在室温下,测试频率为1kHz,外加直流电压为1V时,其介电常数为220,介电损耗为0.047,漏电流为8.0×10<-8>A/cm<2>.进一步研究发现,随着烧结温度的升高,薄膜的结晶性增强,薄膜的电学性能也显著增强,在低场下,薄膜导电遵从该征电子电流机制;在高场下薄膜导电遵从空间电荷限制电流机制.