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本论文总结了微/纳米器件的材料润滑和防护特性，研究了分子尺度厚度润滑薄膜的性质及应用，取得以下主要结论：
1.考察了不同基底材料的表面性质，用改进的热蒸镀法制备了均方根粗糙度达～1A的极薄会膜；提出了不受薄膜导电性限制、在测量薄膜厚度的同时能估算非连续薄膜覆盖率的角分辨XPS测量技术；该方法测得岛状超平整会膜的厚度为16.0±0.4A，覆盖率为92％。
2.用控温高真空原子力显微镜(THV-AFM)表征了分子尺度润滑剂薄膜在CHx基底上的结构分布，用新提出的低出射角的角分辨XPS方法测定了润滑剂岛的厚度，所得结果与THV-AFM法结果相同；结合1H-NMR结果，提出了包括分子的分散、吸附、再组织等过程的成膜机理。
3.用XPS系统模拟高真空和辐射环境的工况，分别用FTIR.XPS和UV/Vis研究了分子尺度厚度和～130nm厚Zdol薄膜的辐射分解行为，提出X射线辐照引发的端基反应机理和主链断裂机理。
4.用非接触形貌测量仪研究了久置空气中的磁盘和其它基底上小液珠的形成机理；这些以水为主的液珠主要通过吸附空气中污染物和水而形成，而覆盖于基底之上的低表面能的分子尺度润滑剂薄膜能有效抑制这类吸附行为。
5.用致密的液体凝聚相十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单层膜选择性地形成于NH4F腐蚀的织构化表面的谷底区域，该复合表面具有较低的表面能和较好的摩擦学性能。