【摘 要】
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该文应用陀螺仪基本理论及微电子技术,对硅微机械陀螺仪工作机理进行了全面深入的研究.在此基础上,依据欧拉动力学议程式,推导出改进型双框架式角振动陀螺仪的运动方程式;运
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该文应用陀螺仪基本理论及微电子技术,对硅微机械陀螺仪工作机理进行了全面深入的研究.在此基础上,依据欧拉动力学议程式,推导出改进型双框架式角振动陀螺仪的运动方程式;运用误差分析理论,系统分析了改进型双框架式角振动陀螺仪的主要误差及其影响.同时结合微机械弹性理论和优化设计理论;提出了微机械陀螺仪结构设计的方案,并设计了一个最优结构的改进双框架角振动陀螺仪.针对该陀螺仪结构,利用计算机进行了一系列的仿真,给出了其性能特点和使用场合.最后,提出了改进型双框架式角振动陀螺仪的工艺实施方案.
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