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铁电薄膜有着非常广泛的应用,利用铁电薄膜的极化取向随外场的方向而发生的变化以及极化在外场之后的保持特性,能够应用于存储领域,如铁电非挥发薄膜随机存储器件;利用铁电薄膜晶体的压电特性,可以应用在传感器领域,如悬臂梁,压力传感器;利用铁电薄膜的热电特性,可以做出非制冷红外探测器件。和传统类似器件相比较,铁电晶体具有自己独特的优势,如操作的可靠性高,器件响应速度快等。优化各种铁电器件的性能,是开展铁电薄膜研究工作的动力。开发出不同的铁电薄膜系列,是为了实现薄膜某一方面特殊性质在应用上的最大化。本