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非晶硅薄膜太阳能电池具有制备成本低,可低温沉积,适用于柔性衬底等优势,是今后第三代电池发展的强力候选之一。然而,传统结构的电池,如单结非晶硅电池、双结非晶硅电池其固有的特点限制着非晶硅电池的转换效率,影响着非晶硅电池的发展,本文提出了一种带有多层吸收层的非晶硅太阳能电池。从理论上分析了非晶硅电池各个层参数对电池转换效率的影响,对双结电池和多层吸收层非晶硅电池做出对比,分析了其效率提高的原因。同时利用PECVD法制备了电池的双层吸收层。此外,还制备了非晶硅表面陷光结构,分析了纳秒激光对吸光结构的影响。