【摘 要】
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该文针对国内普遍使用低温硬质阳极氧化工艺的现状,结合铝合金硬质阳极氧化膜在半导体制制造设备中的应用这一实际应用课题,考虑到减耗节能的要求,对铝合金常温硬质阳极氧化
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该文针对国内普遍使用低温硬质阳极氧化工艺的现状,结合铝合金硬质阳极氧化膜在半导体制制造设备中的应用这一实际应用课题,考虑到减耗节能的要求,对铝合金常温硬质阳极氧化工艺及氧化膜的独特微观结构(多孔结构)进行了研究.该文运用脉冲叠加直流电源进行常温硬质阳极氧化工艺的研究,使用正交实验方法优化了工艺参数.运用TEM、SEM、XRD、EDX等分析手段,对氧化膜的组织性能进行了研究.SEM和EDX研究表明:氧化膜表面烧蚀点的形成与铝合金基体中二次相在氧化时所产生的缺陷有关;氧化后残留在氧化膜中的二次相为裂纹的扩展提供了条件.XRD研究表明:氧化膜在本质上是非晶态的.同时运用TEM可以观察到氧化膜的多孔结构,氧化膜的胞状孔结构以六角形紧密排列,并研究发现氧化膜的孔道由表面向内呈现出一种收缩的趋势.
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