【摘 要】
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该论文的主要工作包括如下几点：1、提出了以注氮氧化层作为一种新型的扩散阻挡层.通过对不同热偏压条件下的C-V测试及XPS分析,证明了注氮氧化层对铜扩散的有效阻挡性.2、通过
【出 处】
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中国科学院微电子中心 中国科学院微电子研究所
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该论文的主要工作包括如下几点：1、提出了以注氮氧化层作为一种新型的扩散阻挡层.通过对不同热偏压条件下的C-V测试及XPS分析,证明了注氮氧化层对铜扩散的有效阻挡性.2、通过对镀液中加入适量的整平剂,并结合三步电流控制法,成功地将工业镀铜技术应用于ULSI铜互连线技术,实现了对高宽比为1：0.6孔的无空洞填充,并具有很好的均匀性.论文还讨论了电镀铜膜的自退火效应,并对样品在不同退火条件下的电阻率、晶粒尺寸及微结构进行了简要分析,得到了理论分析吻合的结果.3、对自行研制的CMP设备抛光磨头进行了进一步的改进,改进后的磨头可以实现硅片在零应力下的抛光,使得抛光均匀性有了一定的提高.4、分别对Via-first和Trench-first双镶嵌刻蚀工艺进行了实验比较.5、分析了以铜代铝制作高Q值电感的优势,并采用所开发的铜互连双镶嵌工艺,用铜互连技术研制了集成电感,使得2nH电感的品质因数从10.48（铝互连技术,3.3GHz）提高到了13.46（铜互连技术,3.2GHz）.
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