【摘 要】
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该文分析了低气压射频感应放电的基本过程,采用流体方程描述带电粒子的平衡和电子能量平衡,通过放电中电子吸收功率密度将电磁场波动方程和流体方程耦合起来,数值计算不时合
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该文分析了低气压射频感应放电的基本过程,采用流体方程描述带电粒子的平衡和电子能量平衡,通过放电中电子吸收功率密度将电磁场波动方程和流体方程耦合起来,数值计算不时合方程组可以得到电场分布和等离子体参数.采用传统的描述射频感应放电的变压器模型,从实验测量的线圈电流得到放电功率,从而给出电磁场的边界条件.在射频工作条件下经典的电导率方程往往不能正确地描述实际情况,所以求解电磁场波动方程时使用的电导率将通过动力学公式推导出来.计算和实验中采用氩气作为放电物质,放电气压为一乇,在这个气压下可以忽略非局部加热的影响.在第一步工作中我们首先求解波动方程和流体方程组,与Golbal模型的结果比较,我们的结果比较理想,并且给出了更详尽的结果.功率吸收密度的最大值位置偏向等离子体边缘处,这样的结构将有助于提高发光效率.电场轮廓反映出放电中存在的趋肤效应,但这个效应在我们的放电条件下还不很显著.
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