【摘 要】
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微磁通门具有体积小、灵敏度高、易集成化的优点,在航空航天领域(特别是小卫星中)的弱磁场测量中有着十分重要的作用.该课题旨在研制一种采用微机械加工技术制作的微型通门.
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微磁通门具有体积小、灵敏度高、易集成化的优点,在航空航天领域(特别是小卫星中)的弱磁场测量中有着十分重要的作用.该课题旨在研制一种采用微机械加工技术制作的微型通门.该论文重点进行了制备微型磁通门关键技术的研究,摸索出了多金属的制备与选择性腐蚀、聚酰亚胺的刻蚀和亚胺化的工艺条件,比较了不同的磁芯制备工艺,通过不同电镀工艺规范的摸索,研制出了具有较好磁性能的NiFe磁芯,其中铁的重量百分含量为22%,而镍占78%.首次采用化学镀铜工艺改善了通孔的连接性能,总结出了制备微型磁通门的最佳工艺条件,采用准LIGA技术制备出具有三维结构的双芯型微磁通门,其芯片尺寸为5.2mm×2.5mm×0.4um.该论文还对微磁通门的测量技术进行了分析研究,设计了波形发生电路、带通和低通滤波器,在倍频和相敏检波中使用了模拟乘法器,改善了测量系统.最后制出了印制电路板,达到了该微磁通门检测电路的要求,从而为微型磁通门传感器的应用打下了坚实的基础.
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