锰钴镍氧化物薄膜材料与器件性能研究

来源 :中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所) | 被引量 : 0次 | 上传用户：michaelgang1

【摘要】

：

锰钴镍氧(Mn-Co-Ni-O)材料是具有立方尖晶石结构的过渡族金属氧化物,具有优异的负电阻温度特性,可用于温度传感器、整流器、非制冷型热敏红外探测器等方面,有着广阔的应用前景。而Mn-Co-Ni-O薄膜材料相比于体材料具有更优的物理性能,可用于制备性能优异的薄膜型热敏红外探测器。本文主要采用磁控溅射法制备Mn-Co-Ni-O(MCNO)薄膜材料,研究了不同后退火温度对薄膜材料的结晶结构、表面形貌

【作者】

：

张飞

【机构】

：

中国科学院大学

【出处】

：

中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所)

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

过渡族金属氧化物锰钴镍氧红外探测电学性质光学性质微桥结构热导系数

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