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透明导电氧化物(TCO)薄膜因为其良好的光电性能,广泛应用于平面显示器、太阳能电池、节能视窗、透明电磁屏蔽等领域。但由于光电性能良好的p型TCO薄膜的缺乏导致透明电子器件难以制备,因此TCO薄膜的p型掺杂成为了目前半导体材料领域的研究热点之一,制备出具有良好的光电性能的p型TCO薄膜成为了国际上的热门研究课题。NiO和Co3O4都是p型导电材料,据报道将它们按照不同的比例组合制备而成的Ni1-xCoxO4/3氧化物薄膜也是一种p型导电薄膜,并且具有良好的光电性能。本文采用传统的陶瓷烧结工