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光学器件的微型化、阵列化,集成化成为当代光学发展的重要方向,微透镜阵列的成功研制,无疑对光学器件的微型化和阵列化起了重要作用,它使微光学器件在光通信、光存储、光学互联、光开关、光信息加工和微光学传感器等方面具有广泛的应用。2008年国内采用光刻离子交换法首次成功研制了方形孔径平面微透镜阵列,这一成果极大的提高了透镜阵列的填充系数,使填充率在理论上达到100%,实验上也取得了非常大的提高。但是该阵列存在两个重大问题：一方面,采用光刻离子交换工艺制作方形孔径平面微透镜阵列,制作出的样品的焦距和数值孔径不