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氧化镓材料在高温(400℃以上)下随环境气氛变化而变化的电学性质可以用于汽车尾气成分的研究。相比于薄膜材料，氧化镓纳米线簇更大的比表面积增加了与待测气体接触。我们使用化学气相沉积的方法能够在衬底表面大规模的制备形貌均一、晶格结构完美、性质稳定的β-Ga2O3纳米线簇。通过结合紫外光刻以及磁控溅射镀膜技术，我们能够在衬底表面制备出相互交错的指叉电极，在电极表面生长的纳米线就能够实现图形化。同时，通过调节CVD生长过程中的各项参数，使得制备出的纳米线簇能够满足后续气敏传感测试的要求。针对电极不耐高温的问题，我们通过在纳米线薄膜上表面沉积图形化金属电极的方法进行改善。最后我们对氧化镓纳米线簇的高温气敏性质进行了初步的探索和研究。