【摘 要】
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纳米薄膜是构成现代高科技器件和设备的基础,其表面形貌和化学结构,结晶状况,膜层厚度,特别是薄膜与基底的界面化学状态和相互作用,是当前薄膜材料研究中的热门课题之一.具有
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纳米薄膜是构成现代高科技器件和设备的基础,其表面形貌和化学结构,结晶状况,膜层厚度,特别是薄膜与基底的界面化学状态和相互作用,是当前薄膜材料研究中的热门课题之一.具有钙钛矿结构的稀土金属复合氧化物薄膜具有磁光、光电、导电、超导及催化等性能,是薄膜材料中的重要一族.该文首次采用非晶态配合物作为前驱体的方法以旋转镀膜技术在单晶Si和SiO<,2>/Si基底上制备了纳米级稀土复合金属氧化物铜酸钆和钴酸镧薄膜,运用XPS、SEM、XRD、AES等先进的分析技术较为系统和全面深入地研究了Gd<,2>CuO<,4>/Si、Gd<,2>CuO<,4>/SiO<,2>/Si、LaCoO<,3>/Si薄膜体系.
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