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设备管理是企业管理的一项极其重要的工作(尤其对资产密集型企业),被现代企业管理学称之为“命脉管理”,而备件管理、运行管理、检修管理被称为设备管理的三大支柱。备件管理直接影响设备的维护、检修、抢修工作,与企业的正常生产和经济效益密切相关,所以备件管理是企业生产管理的一个重要问题,需要企业在理论与实践的基础上进行不断创新研究。在半导体制造领域,其生产制造工艺非常复杂,设备属于高精尖,并且种类多,价格昂贵;每种设备备件类型非常多,如果不建立一个完善,优良的备件管理系统,既而生产效率比较受到严重影响。本文从半导体(集成电路)设备维护和备件管理的意义出发,并对当前国内外备件管理分类方法进行一系列研究,将理论与实践相结合研究了备件库存优化,质量控制方法以及供应链管理三个方面,再围绕着备件管理的这三个方面为中心进行建模,并进行了实例运行以支持模型的三个闭环系统:1.备件配额优化的闭环系统:对备件历史使用数量进行分析,以达到优化库存,按需购买的目的,以免不常用的备件堆积,而常用的备件缺失等情况的发生。2.备件质量控制改进闭环系统:当某备件损坏而申请新备件时,工程技术人员可根据备件损快原因进行评价,从而得知此备件的性能质量情况,继而反馈给供应商,以不断提升备件的性能质量等指标。3.备件供应链的闭环系统:对供应链的管理,体现在备件交付时间与质量上的管理,当备件库存数量小于备件配额,系统将下订单补足库存的同时;并对备件交付时间进行管理其中,在实例运行中,参与了对美国某半导体企业的备件管理系统的模型设计,将这三个闭环系统的模型概念应用到此系统中,达到科学地管理半导体企业生产中备件使用,库存等多方面的目的。本论文用JMP作为统计分析基础,实现半导体生产中备件管理系统的研究,理论与实践相结合,所建立的此模型科学地解决了半导体生产过程中备件配额优化,质量控制以及供应链管理等问题,并以实例来证实了此模型的有效性,更有针对性地对半导体企业进行备件管理。