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【摘 要】
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硅基MEMS传感器已发展了半个多世纪，但即使在的商业化最为成功的压力、惯性传感器领域，仍有一些尚未解决的难题。超低量程的微差压传感器，此前仍不能同时实现低成本和高性能;超
【机 构】
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中国科学院大学
【出 处】
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中国科学院大学
【发表日期】
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2017年期
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