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该文工作围绕着高速集成电路互连线的电磁建模参数提取这一课题展开,目的在于:在前人成果的基础上,对成熟的电磁场方法根据芯片内互连线的具体情况进行改进;编写程序,提供能够提取互连线分布参数的程序包.主要工作内容如下:第一章介绍了该文的研究背景、研究方法和主要研究内容,阐述了分层建模的思路.第二章将导体截面矩量法应用于芯片内互连线电阻和电感频变分布参数提取.针对原算法只考虑多导体传输线系统内仅有一个接地导体而不符合芯片内部通常存在多个接地导体的情况,推导了消去多接地导体的公式,实现了算法的改进.第三章工作使用三维有限差分法求取芯片内互连线静态场分布电容.利用直角坐标系截断(吸收)边界条件对无界区域进行截断,在提高计算效率的基础上保证计算精度.讨论了截断(吸收)边界条件具体使用中的原点设置问题.该部分工作的研究对象是横截面尺寸与线长可比拟的芯片内互连线.基于上述两种分析方法,作者均编写了相应的计算机程序,可以计算一般通用的情况.程序全部用ANSIC/C++语言实现,现可在Windwos2000Professional平台下运行.全部程序还可以快速的移植到Unix/Linux等平台下.