【摘 要】
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由于Al3+掺杂ZnO(即ZAO)薄膜不但具有与ITO薄膜相比拟的对可见光的高透过率和高电导性,而且其原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性和化学稳定性好。因此,它已成为替代ITO透明导电薄膜的研究热点。本文概述了ZAO薄膜的基本特性、制备方法、应用前景以及国内外研究现状。采用溶胶—凝胶法在石英衬底上制备出了Al3+掺杂ZnO薄膜。运用X射线衍射谱(XRD)和扫描电子显微镜
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由于Al3+掺杂ZnO(即ZAO)薄膜不但具有与ITO薄膜相比拟的对可见光的高透过率和高电导性,而且其原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性和化学稳定性好。因此,它已成为替代ITO透明导电薄膜的研究热点。本文概述了ZAO薄膜的基本特性、制备方法、应用前景以及国内外研究现状。采用溶胶—凝胶法在石英衬底上制备出了Al3+掺杂ZnO薄膜。运用X射线衍射谱(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等手段对样品的晶体结构和表面形貌进行了表征,同时分析了掺杂浓度、退火温度以及溶胶浓
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