【摘 要】
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该文综述了光学非接触粗糙度检测的各种方法,评述了用于光学非接触粗糙度测量的几种主要光学散射理论模型.在光纤出射光场分布模型基础上,引进了Hffman在图像分析中使用的梯
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该文综述了光学非接触粗糙度检测的各种方法,评述了用于光学非接触粗糙度测量的几种主要光学散射理论模型.在光纤出射光场分布模型基础上,引进了Hffman在图像分析中使用的梯度空间概念,考虑了粗糙表面局部的空间光散射梯度,建立二维光纤粗糙表面反射模型,设计了二维光纤传感器.实验系统中,光源为LED发光二极管,光检测器采用了硅PIN光电二极管,采用五根大芯径光纤组成了Γ形光纤传感探头,其中心一根光纤为光源光纤,两侧各两根为接收光纤.光源光纤发出的光垂直入射到检测表面,经被检测的粗糙表面调制反射后,形成了与粗糙表面梯度相关的具有空间尺度分布和空间角度分布的散射光场,该散射光场被正交分布在X方向和Y方向的四路探测光纤所接收.由于每个方向的两根光纤与光源光纤的远近不同,因而,近邻光纤所接收到的光信号主要表征了与垂直方向小角附近的光散射特性,而次近邻光纤所接收的光信号则反映了空间散射角度分布的相关特性.
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