【摘 要】
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该论文采用严格的二阶矢量耦合波理论计算了矩形、正弦、三角形、梯形等对称面形蚀刻光栅的TE模偏振的衍射特性,分析了光栅的衍射效率随着沟槽深度变化规律.从计算结果可以看
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该论文采用严格的二阶矢量耦合波理论计算了矩形、正弦、三角形、梯形等对称面形蚀刻光栅的TE模偏振的衍射特性,分析了光栅的衍射效率随着沟槽深度变化规律.从计算结果可以看出:在特定的条件下,光栅可以达到非常高的衍射效率,理论上接近100%.将严格的平面光栅一阶矢量耦合波理论推广到更复杂的蚀刻光栅的情景,并以矩形光栅为例,计算得出了具有非常重要实现意义的TE模偏振和TM模偏振都有很高衍射效率时光栅的结构.
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