【摘 要】
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量子阱红外探测器具有大面积均匀性好、易于双色或多色器件的单片集成等优点,是目前红外探测器研究的焦点.但它对正入射光的吸收是禁戒的,针对这一问题的完善解决,该工作从量
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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量子阱红外探测器具有大面积均匀性好、易于双色或多色器件的单片集成等优点,是目前红外探测器研究的焦点.但它对正入射光的吸收是禁戒的,针对这一问题的完善解决,该工作从量子阱材料红外光吸收的基本理论出发,研究了正入射量子阱红外探测器光耦合技术;优化出具体的光栅参数;在理论分析和实验的基础上,设计出64×2正入射量子阱红外探测器的面阵版图;并探索了GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的制备工艺.
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