【摘 要】
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纳米科技将在21世纪引发一场新的工业革命,纳米测控技术是纳米科技发展的重要基础,而纳米位移致动器是纳米测控技术的关键部件,因此纳米位移致动器的研制是纳米科技的基础研
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纳米科技将在21世纪引发一场新的工业革命,纳米测控技术是纳米科技发展的重要基础,而纳米位移致动器是纳米测控技术的关键部件,因此纳米位移致动器的研制是纳米科技的基础研究领域之一.目前,大功率、高精度纳米致动器是研究的热点、难题.在介绍了目前常用的微纳米位移致动方式的原理、特点及典型结构的基础上,该文给出了作者利用电磁式致动力大和压电致动精度高的优势互补而研制出的一种大功率组合式纳米致动器的数学模型和致动原理.根据其致动原理设计了致动装置,并分析了该装置的动态特性.最后,该文还设计了装置的控制系统,介绍了控制系统中PC机部分的程序编制.
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