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【摘 要】
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氧化铬作为一种陶瓷材料,具有显微硬度高、抗氧化性能好、摩擦系数小、高温热稳定性好等优点,现已被用作微电子器件的阻挡层和磨损器件的保护层,是一种极有发展前途的硬质涂
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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中国科学院金属研究所
【发表日期】
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2003年期
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