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衬底对SnO<,2>透明导电膜的影响
衬底对SnO<,2>透明导电膜的影响
来源 :华中师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:uj_mosquito11
【摘 要】
:
SnO透明导电膜的光学、电学特性与它的结构有关.该文研究了衬底对薄膜结构的影响.结果表明:衬底的材质和表面粗糙度影响晶粒在大小、致密度及优势面;衬底的温度影响薄膜的结
【作 者】
:
李春芳
【机 构】
:
华中师范大学
【出 处】
:
华中师范大学
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
衬底
透明导电膜
薄膜结构
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SnO<,2>透明导电膜的光学、电学特性与它的结构有关.该文研究了衬底对薄膜结构的影响.结果表明:衬底的材质和表面粗糙度影响晶粒在大小、致密度及优势面;衬底的温度影响薄膜的结晶程度.
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