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目前微加速度计的应用领域越来越广,甚至涉及到一些特殊领域:石油勘探、导航、地震检测等,这些领域对加速度计的性能提出了更高的要求。对高精度微加速度计的研究成为国内外关注的焦点。本文在分析了闭环微加速度计基本工作原理和闭环动态特性的基础上,对闭环微加速度计的噪声、温漂和稳定性进行了分析和测试,并进行了优化和改进,提高加速度计的整体性能。闭环微加速度计的噪声主要包括机械噪声和电学噪声,电学噪声主要包括前置放大器噪声、KT/C噪声、参考电压噪声和质量块随机游走噪声。为了降低系统噪声,