多晶硅生产中尾气回收装置工艺改进

• 机 构: 内蒙古神舟硅业有限责任公司
• 出 处: 2014第十届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
• 发表日期: 2014年期
• 关键词: 多晶硅生产 尾气回收利用 回收装置 技术改进 氢气质量 系统产生 生产过程 降低能耗

　　目前国内多晶硅生产中，大多采用改良西门子法技术，该技术制备多晶硅生产过程中，尾气回收装置有以下特性：1特点：工艺较复杂，单元操作较多2目的：尾气回收利用，系统产生的杂质进行分离3缺点：部分单元不能满足物料彻底分离，质量低，成本高4措施：工艺系统技术改进、参数调整5改造目标：提高回收氢气质量、降低能耗、提升产品品质