【摘 要】
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飞秒激光具有非常窄的脉宽和超高的峰值功率,使得它在微加工方面有着其他传统激光脉冲无法比拟的优势.本文通过三维双温模型理论进行模拟,系统的研究了飞秒激光与金属铝之间
【机 构】
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上海交通大学物理与天文系,上海200240
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飞秒激光具有非常窄的脉宽和超高的峰值功率,使得它在微加工方面有着其他传统激光脉冲无法比拟的优势.本文通过三维双温模型理论进行模拟,系统的研究了飞秒激光与金属铝之间的相互作用机理和加工参数与结果的关系,为微加工提供理论依据.首先在理论上,利用实验和样品参数,基于飞秒激光时域及空间上的高斯分布,建立了三维双温模型,对单脉冲超短激光作用在铝金属上的晶格温度分布进行模拟,探讨了飞秒激光烧蚀金属材料去除过程,模拟结果所描述的物理图像与理论机制达到一致.另外,讨论了多脉冲激光作用下,脉冲个数,脉冲能量及腰斑半径对烧蚀孔径大小与烧蚀深度的定量关系,理论结果与实验达到良好吻合.
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