MEMS材料力学性能测试方法综述

• 作 者: 万敏 陈樟 苏伟
• 机 构: 北京航空航天大学机械工程及自动化学院,北京,100083
• 出 处: 第二届全国信息与电子工程学术交流会暨第十三届四川省电子学会曙光分会学术年会
• 发表日期: 2006年期
• 关键词: 材料 力学性能测试 性能测试方法 微电子机械系统 产品设计 直接用 可靠性 制造 学者 设备 结构 国内 尺度

随着微电子机械系统(MEMS)的蓬勃发展,对MEMS力学性能的研究越来越成为各方关注的热点.因为力学性能的优劣直接关系到MEMS产品设计,制造和可靠性的优劣.加之由于其尺度的微小,传统的力学性能测试方法和设备不能直接用于测试,因此,如何测试MEMS材料(结构)的力学性能成为了关键.国内外一些学者在此方面做了部分研究,本文对一些典型的测试方法进行阐述.