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本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.
电子束曝光机模拟技术研究
【摘 要】
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本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.
【机 构】
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中国科学院微电子中心光掩模实验室(北京)
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年期
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