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SiGe/Si MQW材料的高温退火应变弛豫特性
【机 构】
：
院半导体所,集成光电子学国家重点联合实验室
【出 处】
：
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
：
1997年期
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