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在一内径为８０ｍｍ喷动流化床反应装置系统中进行了三氯氢硅的氢还原反应实验。为了评价颗粒硅生长状况，利用Ｘ射线衍射，对进料的籽晶（硅粉）、反应后长大的颗粒硅，剥离石墨衬内壁薄层材料，热电偶保护套管外壁的粉状物质，以及尾气排出管内壁的粉状物质，进行物相分析，证实了在喷流床中用ＳｉＨＣｌ〈，３〉的氢还原法制取颗粒多晶硅是可行的，用高纯石墨作反应器内衬是合理的。