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自激光诞生以来，由于其具有高亮度、良好的单色性、高相干性、高方向性等显著的优点，在社会各个方面都得到了广泛的应用。硅是重要的半导体材料，脉冲激光在硅材料表面诱导的微结构在太阳电能池、红外光探测器等领域有着潜在的应用价值[1-2]，因此研究单脉冲激光硅表面诱导的微结构具有重要意义。
单脉冲激光诱导硅表面微结构的演化
【摘 要】
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自激光诞生以来，由于其具有高亮度、良好的单色性、高相干性、高方向性等显著的优点，在社会各个方面都得到了广泛的应用。硅是重要的半导体材料，脉冲激光在硅材料表面诱导的
【机 构】
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西南科技大学理学院 激光与光电子实验室,极端条件物质特性实验室,绵阳621010
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
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2013年期
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