【摘 要】
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激光掺杂可控性强,工艺简单快捷,采用激光实现重掺杂可以降低对材料产生的诱导损伤.本文介绍了在PERL电池背面采用激光实现局部区域重掺杂,并考虑Al203钝化膜的膜厚的改变,分
【机 构】
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中山大学太阳能系统研究所,光电材料与技术国家重点实验室,广州510275
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激光掺杂可控性强,工艺简单快捷,采用激光实现重掺杂可以降低对材料产生的诱导损伤.本文介绍了在PERL电池背面采用激光实现局部区域重掺杂,并考虑Al203钝化膜的膜厚的改变,分析了激光波长、激光脉冲个数、激光能量密度和Al2O3钝化膜的厚度对掺杂效果的影响,简单分析了采用激光重掺杂制备的PERL电池的各项电学参数.
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