MCT液相外延薄膜的低温热处理研究

来源 :第十三届全国红外科学技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:charse
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该文主要介绍对用LPE法生长的MCT薄膜的低温热处理方法,并对LPE生长的MCT原生片和低温热处理后的外延片电参数、组份和形貌进行了对比分析。
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