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文研究了磁控溅射法制备ＹＢＣＯ／ＣｅＯ〈，２〉／ＭｇＯ／ＳＴＯ多层膜的工艺过程，并利用Ｘ射线θ－２ θ扫描、φ扫描、摇摆曲线及ＴＥＭ、ＡＥＳ等手段对其微观结构进行了研究。结果表明，利用磁控油射法可以实现ＹＢＣＯ、ＣｅＯ〈，２〉、ＭｇＯ等多层膜的异质外处生长。ＭｇＯ的插入使ＣｅＯ〈，２〉层发生了平面４５°的转向。在最佳工艺条件下多层膜有以下的取向关系：ＹＢＣＯ（００１）／／ＣｅＯ〈，２〉（００１）／／ＭｇＯ（００１）／／ＳＴＯ（００１），ＹＢＣＯ［１００］／／ＣｅＯ〈，２〉［０１０］／／ＭｇＯ［０１０］／／ＳＴＯ［０１０］。多层膜中ＹＢＣＯ的超导转变温度Ｔ〈，ＣＯ〉≥９０Ｋ，Ｊ〈，Ｃ〉≥１×１０〈’６〉Ａ／ｃｍ〈’２〉。