【摘 要】
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采用周期性磁场辅助热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在厚为40μm的钼箔表面沉积金刚石薄膜,研究了沉积温度600℃时不同沉积时间(3,4.5,8h)和沉积温度760℃时
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院 长沙 410083
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采用周期性磁场辅助热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在厚为40μm的钼箔表面沉积金刚石薄膜,研究了沉积温度600℃时不同沉积时间(3,4.5,8h)和沉积温度760℃时不同沉积时间(2,3,5h)下薄膜残余应力的状态；同时分析了不同沉积温度(680℃,760℃,840℃)沉积2h时薄膜本征应力的变化规律.采用场发射扫描电子显微镜、激光Raman光谱仪、X射线衍射仪、能谱仪分析了金刚石薄膜的表面形貌、微结构和残余应力.
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