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主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置，并对校准数据进行了处理。由于冷阴极电离真空计为非线性真空计，通过比较，校准结果采用了校准曲线的方式，可提高校准的准确度，减小校准不确定度，保证真空测量的可靠性。
冷阴极电离真空计非线性校准方法研究
【摘 要】
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主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置，并对校准数据进行了处理。由于冷阴极电离真空计为非线性真空计，通过比较，校准结果采用
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州 730000
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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